日本IWAKI易威齐风囊泵FS-100HT2 FS-60HT2
日本IWAKI易威齐风囊泵FS-100HT2 FS-60HT2
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日本IWAKI易威齐风囊泵FS-100HT2 FS-60HT2
FS-H 系列的特点
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快速冲程
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泵行程的高速化（最大.240spm※）实现了小尺寸、轻量、低成本化。
* 冲程数因型号而异。 有关详细信息，请参阅规格表。
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无孔设计
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所有液体接触部分均采用氟树脂。 泵的外边缘部分也涂有氟树脂涂层，设计时没有金属暴露。 此外，我们专有的轴密封 （PAT） 进一步减少了颗粒的产生。
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广泛的液体温度范围和高压放电
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处理液的液温范围为5~180°C，排出压力可达Max.0.45MPa。 它可用于清洁和 CMP 工艺，以及药用工艺。
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操作简单
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采用传感器驱动方式，通过内置于泵中的接近开关切换电磁阀。 此外，还标配泄漏传感器。 通过连接到专用控制器，可以轻松控制和管理排放量。
概要规格
最大放电量 55 L/min 供应空气压力范围 0.15 – 0.5 MPa 最大空气消耗 670 NL/min 最大冲程数 240 spm 主要材料 PTFE、PFA 液体温度范围 5 – 180℃ -
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