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Pillar PW药液补充用定量泵(半导体行业用泵)
PW-5MA PW-10MA
用途:
用于化学品补充用定量泵
特点:
接液部件的所有部件均由含氟聚合物制成,使其成为具有高耐化学性、耐热性和清洁度的泵。由于其重复精度高,它适用于需要定量处理的区域。
主要成分材料:
接液部件:PFA、PTFE
主要应用:
用于补充化学品供应设备和清洁设备中的化学品
参数:
工作液温度:10~100°C
标称吐出量:5,10Ml/次 行程
速度:4~40spm
供气压力:0.2~0.25MPaG