IWAKI易威奇 半导体用气动风囊泵FS系列
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外型小巧、低成本、高速冲程的气动风囊泵 高速冲程 提升泵的冲程速度 (最高达240 spm)，让制造过程中，大大减少泵的尺寸、重量、成本，及降低脉动。 无污染设计 过流端零件均采用氟树脂材质，没有金属零件外露的设计，外壳采用氟树脂材质。使用独有的轴封 (已申请专利)，能显著降低颗粒的产生。 液体输送温度范围宽泛/高吐出压力 液体输送温度范围高达5 - 180°C，吐出压力高达45MPa。不仅适用于清洗和CMP制程，同时适用于化学液体供药。 易于维护 更换开关无需拆卸，不需定期收紧螺栓，减少了停机时间。 传感器驱动系统 内置式开关通过传感器驱动系统打开/关闭电磁阀。因此，即使连接各种控制器，亦可以轻易控制吐出量。
常用型号如下：
1 FS-15HT2 2 FS-30HT2 3 FS-60HT2 4 FS-100HT2 5 FS-15HT1 6 FS-30HT1 7 FS-60HT1 8 FS-100HT1 
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